- Products - Physik Instrumente (PI) SE & Co. KG
초소형 사이즈로 정밀도와 장기적인 안정성을 제공하는 2상 관성 드라이브가 장착된 소형 리니어 스테이지
통합 피에조 2상 관성 드라이브(BIX)는 스틱-슬립 원리를 활용하여 최대 14mm/s의 속도로 아주 작은 움직임을 매우 동적으로 수행합니다. 최소 10nm의 최소 이동 거리와 최대 6nm의 분해능을 갖춘 이 소형 리니어 스테이지는 빔 조작을 위한 광학 구성품 얼라인먼트와 같이 나노미터 범위의 정밀도가 필요한 까다로운 포지셔닝 애플리케이션에 이상적입니다. 통합 self-locking 메커니즘은 위치 안정성을 보장하므로 장기간 안정적인 측정 및 얼라인먼트 공정에 특히 유리합니다.
컴팩트하고 유연한 디자인
크기가 25×29×11mm에 불과하고 적층 가능한 디자인을 갖춘 B‑421 BIX 소형 리니어 스테이지는 다축 시스템과 쉽게 결합할 수 있습니다. 이러한 유연성 덕분에 복잡한 포지셔닝 및 얼라인먼트 애플리케이션에 이상적인 솔루션으로 사용할 수 있습니다.
소형이지만 고중량의 가반 하중 지원
최대 구동력이 2.5N인 B‑421 BIX 리니어 스테이지는 기계적 하중을 정밀하게 다뤄야 하는 모션이 요구되는 작업도 처리할 수 있습니다. 최대 가반 하중은 XY 방향 0.5kg, Z 방향 0.15kg입니다. 스테이지는 드라이브 기술에 최적화되도록 맞춰진 E-881 BIX 모션 컨트롤러로 제어할 수 있습니다.
까다로운 하이테크 애플리케이션용
높은 포지셔닝 정확도, 뛰어난 분해능, 좁은 공간에서의 장기적인 안정성 등을 자랑하는 이 소형 리니어 스테이지는 복잡한 산업 및 마이크로 애플리케이션의 아무리 까다로운 요구 사항도 충족하며, 정확하게 빔을 형성하고 ‑조종할 수 있도록 광학 요소를 정밀하게 포지셔닝합니다. 반도체 산업에서 이 애플리케이션은 특히 마이크로칩의 품질 관리에 사용됩니다. 현미경의 경우 빔의 정밀 조종은 TIRF 또는 STED 현미경과 같은 최신 고분해능 장치에서의 필수 요소입니다.
Physik Instrumente(PI) 소개
독일 카를스루에에 본사를 둔 PI는 산업 자동화, 포토닉스, 반도체, 현미경 및 생명 과학의 시장 부문에서 고정밀 위치 제어 기술 및 피에조 애플리케이션 분야의 시장 및 기술 리더입니다. 전 세계 고객과 긴밀히 협력하는 PI의 1,900명 이상의 전문가는 50년 이상 기술적인 실현 가능성의 한계를 끊임없이 뛰어넘어 왔습니다. 다양한 드라이브 기술, 자체 개발한 센서 기술, 전자 장치 및 제어 기술이 이를 위한 기반이 됩니다. PI의 포트폴리오는 구성품에서 하위 시스템, 완전한 맞춤형 솔루션에 이르기까지 다양합니다. 560개 이상의 특허를 취득했거나 출원 중으로 정밀 위치 제어 및 피에조 기술 분야의 리더십을 입증하고 있습니다. PI는 유럽, 북미 및 아시아에 9개의 생산 시설과 16개의 영업 및 서비스 지사를 보유하고 있습니다.