표면 형상 제어

액티브 표면 제어를 위한 스마트 피에조 액추에이터 및 드라이브 기술

미래의 응용 분야에서는 단순히 물체를 정밀하게 이동시키는 능력뿐만 아니라, 표면의 형상을 변경하고 보정하는 능력도 요구됩니다. 이를 위해 지능형 피에조 시스템 개념이 필요합니다. 당사의 표면 형상 제어 기술은 대형 고체 플레이트를 나노미터 정밀도를 통해 능동적 변형을 지원합니다. 고급 제어 개념 덕분에 표면 프로파일을 구현할 수 있습니다. 통합된 고분해능 센서는 선택적으로 외부 표면 측정과 결합할 수 있으며, 표면 프로파일을 계산하고 굽힘 및 뒤틀림과 같은 장파 편차를 정밀하게 생성 또는 보정하는 데 사용됩니다. 제르니케 모드를 중첩하고 최적화된 작동 전략을 적용함으로써 시스템은 최대 100µm의 변형을 달성하면서도 높은 정적 힘을 유지합니다. 이 접근 방식은 효율적인 목표 지향 표면 제어와 다양한 응용 분야에서 유연하게 성능을 발휘할 수 있게 해줍니다.

유연한 액추에이터 설계

당사는 설치 공간, 스트로크, 힘 및 분해능 측면에서 고객의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 액추에이터 설계를 제공합니다. 설계는 단일 액추에이터 솔루션부터 다수의 액추에이터로 구성된 대형 어레이까지 확장할 수 있습니다.

유연한 작동

다이내믹 동작, 준정적 동작, 복합 동작을 결합하면 포지셔닝 노이즈를 최소화하면서 다양한 진폭을 생성할 수 있습니다. 이는 고속 동적 보정부터 장기간 안정적인 변형까지 모두 가능하며, 연속 전압 공급이 필요하지 않습니다.

유연한 피처 크기

당사는 구조화된 조성을 가진 피에조 세라믹 소재를 활용하여 탁월한 작동 유연성과 가장 작은 피처까지 정밀하게 형상화할 수 있는 능력을 실현합니다.

유연한 형상 제어

액추에이터 또는 액추에이터 어레이의 다양한 구성을 통해 최고의 분해능으로 다양한 형태의 변형을 구현할 수 있습니다. 스마트 배선, 드라이브 및 센서 개념은 하드웨어 환경을 단순화합니다.

Physik Instrumente - Mathias Winter

또한, 당사는 스마트 액추에이터 어레이를 활용한 하이브리드 솔루션을 개발하여 미래 고객의 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.

Mathias Winter, 피에조 드라이브 및 시스템 기술 책임자

당사 기술의 실제 구동 모습 확인하기

표면 형상 제어: 오늘의 기술, 내일의 잠재력

광학 부품이나 기판의 표면을 고분해능으로 형상화하면, 특히 레이저 가공이나 고감도 반도체 생산과 같은 응용 분야에서 이미징 품질과 제조 품질을 모두 향상시킬 수 있습니다. 당사의 엔지니어 팀은 연구 기관 및 산업 파트너와 협력하여 대규모 액추에이터 어레이의 배선, 구동 및 제어 문제를 최고의 분해능을 통해 성공적으로 해결하고 있습니다.

표면 형상을 완벽하게 제어할 수 있는 강력하고 유연한 플랫폼을 찾고 계신가요? 당사 엔지니어와 귀사의 구체적인 요구 사항에 대해 상담하세요.

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