처리량 향상 및 반도체 제조의 차세대 기술 노드를 실현하는 포지셔닝 솔루션
오늘날 반도체 기술은 전 세계에서 가장 중요한 산업 분야 중 하나입니다. 반도체는 프로세서 기술, 데이터 저장, 신호 처리, 광전자공학의 분야의 발전을 이끌어 차세대 마이크로프로세서, 메모리 칩, 전력 반도체 산업의 원동력이 됩니다. 이렇듯 반도체 부품은 6G 기술, IoT(사물 인터넷), 클라우드 및 엣지 컴퓨팅, 전기 및 자율 주행 차량 분야에서 핵심 개발을 실현하는 데 꼭 필요한 요소입니다. 동시에, 이러한 시장의 성장으로 반도체 제조업체는 더 작고 복잡한 직접 회로(IC)를 만들면서 기능 밀도를 높이고, 에너지 소비를 감소하며, 제품 및 기술 혁신 주기를 단축하고, 생산을 늘리고 비용을 줄여야 하는 어려운 상황에 직면하고 있습니다.
종합 반도체 제조사(IDM) 또는 파운드리 제조사가 반도체 칩 제조에 사용하는 각 장비 부품 및 기계는 이러한 요구사항을 충족해야 합니다. 또한 공정 관련 기술 개발과 수많은 실리콘 웨이퍼 공정 단계는 모두 복잡하고 정교한 제조 단계를 거칩니다.
리소그래피는 웨이퍼 공정에서 가장 결정적인 공정 단계 중 하나입니다. 이 공정에서 프로세서 속도, 저장 용량, 공간 요구사항, 전력 소비량 등 칩 기능의 기본 요소가 결정됩니다. 반복적인 노광 공정 중에는 인쇄 회로 기판, 트랜지스터 및 기타 구성품에 사용되는 가장 작은 부품을 실리콘 웨이퍼에 옮겨야 합니다.
최종 제품의 우수한 품질 및 신뢰성, 가격 경쟁력을 갖춘 칩 생산 수율을 보장하려면 제조 공정의 모든 중요 단계에서 측정 및 검사 공정을 거쳐야 합니다.
대부분의 제조 공정에서는 구성품을 나노미터, 심지어 나노미터 미만의 정밀도와 높은 동력으로 움직이거나, 오랜 시간 동안 정확하게 포지셔닝을 유지하는 기능이 매우 중요합니다.
PI는 50년간의 피에조 기술 및 나노 포지셔닝 경험, 광범위한 기술 범위, 높은 수직 통합 제조 역량을 바탕으로, 각 공정에 최적화된 부품 및 시스템을 개발 및 제공합니다. 센서와 피에조 액추에이터, 시스템 및 모터에서 리니어 모터 드라이브를 탑재한 에어 베어링 모션 시스템, 그리고 컨트롤러, 드라이브 모듈, 소프트웨어 및 펌웨어에 이르기까지 포괄적인 솔루션을 제공합니다.
또한 PI의 자회사인 >> ACS의 EtherCAT® 기반 모션 컨트롤러 및 드라이브 솔루션은 반도체 제조에 사용되는 복잡한 다축 시스템을 높은 정밀도로 유연하게 제어할 수 있도록 지원합니다. 예를 들어, 지능형 갠트리 제어 또는 서보 제어를 적용하여 서브나노미터 정지 지터를 구현할 수 있습니다.
반도체 장비 제조업체의 오랜 공급업체로서 PI는 반도체 산업의 요구 사항을 이해하며, 설계 단계부터 고객과 긴밀히 협력하여 현재 요구 사항을 충족하고 미래 기술 동향 및 기술 노드를 지원할 수 있는 솔루션을 선별합니다.
개별 서비스 수준 계약(SLA)과 글로벌 서비스 허브를 통해 PI는 긴급한 요구 사항에도 신속히 대응할 수 있으며, 이를 통해 안정적인 프로세스 성능을 지원합니다. 광범위한 장기 테스트, 최고 수준의 청정 기준을 준수한 클린룸 제조, 그리고 Copy Exactly Strategy를 기반으로 한 부품과 시스템의 높은 품질 및 신뢰성 덕분에, PI는 고객에게 고가용성 솔루션을 제공합니다.
