EU 지원 프로젝트 14ACMOS: PI, 반도체 제조 기술 노드 개발에 기여

Piezo stage for precise positioning of wafers

“This project is co-funded by the European Union under grant agreement No 101096772 and is supported by the Chips Joint Undertaking and its members.”

3nm 기술로 제조된 하이엔드 마이크로칩이 현재 최신 기술입니다. 2nm 기술 노드의 생산 기술은 이르면 내년에, 1.4nm (14옹스트롬)은 2027년에 가능할 것으로 보입니다. 9,500만 유로 규모의 14ACMOS는 유럽 연합에서 공동 자금을 지원하고 “Joint Undertaking for Chips(Chips JU)”에서 후원합니다. 이 프로젝트는 ASML이 주관하고 6개국의 25개 파트너가 참여하여 유럽 반도체 산업에 대한 선도 공급업체들의 노하우와 개발 전문 지식을 한데 모읍니다.

PI는 수십 년 동안 반도체 산업의 시스템 파트너였으며 광범위한 반도체 생산 분야에서 포지셔닝 시스템을 제공하고 있습니다. 품질 관리를 위한 리소그래피 및 계측 분야에서 나노포지셔닝의 전문성은 특히 중요합니다. 14ACMOS 프로젝트의 일부로 개발될 포지셔닝 시스템은 진공 조건에서 정확하고 역동적이며 경제적으로 작동해야 합니다.

옹스트롬은 종종 원자 거리를 설명하는 데 사용됩니다. 1옹스트롬은 천만 분의 1밀리미터 또는 0.1나노미터(nm)와 같습니다. 인간의 머리카락 두께가 약 80,000나노미터인 것과 비교하면 굉장히 미세한 수치입니다.

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About Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

독일 Karlsruhe에 본사를 둔 Physik Instrumente(PI)는 산업 자동화, 반도체 산업, 포토닉스, 현미경, 생명과학 등 고정밀 포지셔닝 기술과 피에조 애플리케이션의 시장 및 기술 선두주자입니다. PI의 약 1,500명의 전문가는 국제 고객과의 긴밀한 협력을 통해 50년 이상 지속적으로 기술적인 한계를 극복하고 표준 및 맞춤형 솔루션을 개발해 왔으며 508개의 특허를 보유하고 있습니다. PI는 유럽, 북미, 아시아에 9개의 생산 시설과 16개의 판매 및 서비스 자회사를 운영하고 있습니다.